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Michael Bäcker, Deutsche Nanoschicht

Elektro-keramische Schichten

Keramische, insbesondere elektrokeramische, Funktionsschichten ermöglichen die Erzeugung völlig neuer Funktionalitäten. Die Verwendung dieser dünnen Schichten bedeutet dabei meist nicht nur eine Verbesserung der Performance, sondern auch der Materialeffizienz: Die gewünschten elektrischen Eigenschaften werden nicht durch Massivmaterialien, sondern über günstige Trägermaterialien mit einer Funktionsschicht erreicht.

In Form von elektrokeramischen Schichten können dabei z.B. piezoelektrische, ferroelektrische, dielektrische, magnetoresistive, p- und n-halbleitende oder supraleitende Materialien abgeschieden werden.

Eine besondere Herausforderung bei den meisten elektrokeramischen Materialien ist die sogenannte Anisotropie. Diese besagt, dass physikalische Eigenschaften von der Orientierung der Materialkristalle abhängen. Um optimale Eigenschaften zu erreichen, müssen daher alle Kristalle in der elektrokeramischen Schicht gleich orientiert werden. Dies gelingt durch das sogenannte epitaktische Wachstum der keramischen Schichten. Die Deutsche Nanoschicht GmbH ist in der Lage, elektrokeramische Schichten aus einer Vielzahl von Materialien wie Titanate, Zirkonate, Manganate, Cerate oder Kuprate herzustellen.